激光光谱分析仪
高精度激光吸收光谱仪的测量原理基于分子对特定波长光的吸收特性。根据待测气体的种类，系统采用可见光至中红外波段的激光二极管作为光源。通过探测器接收透射光强度（I）与入射光强度（I0）的比值，结合朗伯-比尔定律（Lambert-Beer Law），可实时计算测量腔室内气体的当前浓度。
将测量光谱与基于HITRAN数据库的理论光谱（包含气体吸收谱线信息）进行对比。系统持续分析并验证两者之间的偏差（称为“光谱相关性”），确保检测结果的准确性。
直接物理测量：
从可见光到MID-IR光谱范围的选择性和连续测量。
无交叉灵敏度：
窄带可调激光源可确保对被测气体的最高选择性。通过选择理想的吸收线，其他气体不会对测量产生影响。
无凝结，响应时间快，吸附效果低：
由于压力和温度稳定的测量室在真空状态下运行，（由于相应降低的露点）可以防止形成凝结水。高（可调节）的流量以及真空，可以加快响应时间，并将吸附和延迟效应降至最低。
无需消耗品：
无需化学物质或更换维修零件。最低运营成本。
检测气体成分 | 氯化氢HCl / 氨气NH3 |
量程 | 0 - 1,000 ppm |
检测下限 | ≤ 100 ppb (2σ) |
线性误差 | ≤ ± 1 ppm or ± 1 % of measured value |
零点漂移 | ≤ ± 0.1 ppm in 8 h |
量程漂移 | ≤ ± 1 % FS in 8 h |